對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。

低溫恒溫槽常見問題：

1、水循環(huán)使用了一年多都很正常，可現(xiàn)在制冷速度好像越來越慢了，在氣溫越高時越明顯？

答：水循環(huán)使用很簡單，但是定期的維護(hù)保養(yǎng)工作還是不能忽視的。有很多看似故障的毛病其實就是沒有定期做維護(hù)保養(yǎng)引起的。水循環(huán)自身的電功率和制冷劑從負(fù)載中帶走的熱量都需要從前通風(fēng)罩處的散熱器中排走，如果前通風(fēng)罩上吸滿灰塵和柳棉等就會妨礙這些熱量的散發(fā)，制冷效果將大打折扣。一般來說在正常的使用條件下制冷量下降都是因為通風(fēng)散熱效果太差或環(huán)境溫度太高引起的。

2、水循環(huán)以前使用都很正常，可現(xiàn)在發(fā)現(xiàn)噪音比以前大很多，這是什么原因？

答：前面提到過水循環(huán)的日常維護(hù)工作，這個問題也與之有關(guān)。大家都知道，水里面有很少部分的雜質(zhì)，就是蒸餾水在加到水箱后也不可能一點雜質(zhì)都沒有。對于水循環(huán)而言，一般溫度都設(shè)置在20℃，特別適應(yīng)微生物的生長和繁衍。時間長了以后這些微生物就會堵塞水路的過濾器造成回水不暢，水泵就會有較大的噪音。有時這些微生物附在了換熱器的表面，造成換熱器的傳熱效果變差，制冷量變小。所以一定要嚴(yán)格按照說明書中的要求做好日常維護(hù)工作，定時清洗內(nèi)槽，停用，保持槽內(nèi)干燥。水循環(huán)里面好像有漏水，有時地面一會兒就有幾滴，是不是水路上有地方泄漏？一般來說在正常使用的過程中，水路是不會有泄漏的。在環(huán)境溫度比較高空氣中的相對濕度又太大時，在水循環(huán)的水路中的水泵、水管接頭、外接水管處容易凝結(jié)露水，累積多了以后就滴到地面上了，不用擔(dān)心是水路中有漏水的地方。如果您對這很介意的話，打開空調(diào)降低房間溫度或是除濕都可以避免露水的產(chǎn)生。